小型快速退火爐\紅外燈管加熱爐

小型快速退火爐應(yīng)用：

小型快速退火電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。紅外線燈管是填充氣體內(nèi)含有部分鹵族元素或鹵化物的充氣白熾燈。這種紅外燈管加熱元件是為滑軌爐設(shè)計(jì)的,升溫速率可達(dá)到120℃/S。
應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn).

小型快速退火爐特點(diǎn)：

小型快速退火電爐可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測(cè)溫設(shè)計(jì)，
溫控精度高,額定升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

小型快速退火爐參數(shù)：