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微量溶解分析儀在電子行業(yè)中的應(yīng)用

閱讀:29          發(fā)布時(shí)間:2023-3-25

  在半導(dǎo)體行業(yè),對(duì)微量溶解氧有嚴(yán)格的要求,若純水微量溶解氧超標(biāo),會(huì)造成產(chǎn)品污染而影響產(chǎn)品品質(zhì),因此需要嚴(yán)格控制溶解氧含量。半導(dǎo)體行業(yè)一般選用脫氣膜去除溶解氧,通過憎水纖維膜將液相和氣相分開,在氣相抽真空,使得氣體被去除,液相中的氣體就會(huì)擴(kuò)散到氣相中,從而達(dá)到去除溶解性氣體的作用。

  

  電子廠純水工藝段在脫鹽后及終端分配單元前安裝了脫氣膜工藝,現(xiàn)場(chǎng)溶解氧控制指標(biāo)要求小于 10ppb。

  

  現(xiàn)場(chǎng)安裝了微量溶解氧分析儀,用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)脫氣膜后的溶解氧含量,現(xiàn)場(chǎng)儀表所測(cè)得的溶解氧數(shù)據(jù)穩(wěn)定準(zhǔn)確,維持在 7~9ppb范圍內(nèi)。

  

  針對(duì)客戶現(xiàn)場(chǎng)工藝控制要求,Orb410+GA2400 微量溶解氧分析儀是一個(gè)很好的選擇。GA2400 專門為微量溶解氧在線監(jiān)測(cè)設(shè)計(jì),其響應(yīng)能力快速(7.2S),重現(xiàn)性良好,維護(hù)操作簡(jiǎn)單,不銹鋼設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用,適用于電子行業(yè)純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)。

  

  溶解氧是電子行業(yè)重要的監(jiān)測(cè)指標(biāo),其含量高低將直接影響終端產(chǎn)品品質(zhì)。在正常的維護(hù)情況下,GA2400 微量溶解分析儀響應(yīng)迅速,重現(xiàn)性及檢出限滿足現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量需求,校準(zhǔn)快速,維護(hù)簡(jiǎn)單,是一款用于純水溶解氧監(jiān)測(cè)的高性價(jià)比的在線儀表。


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