在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器 返回列表頁

MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器僅需要一根進液管、一根出液管和一根通訊電纜既可以實現(xiàn)監(jiān)測及遠傳遠控。

在線優(yōu)勢：

MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器為生產(chǎn)線上的重要顆粒管控部分。在線、實時、連續(xù)取樣及分析、預(yù)報警提示，能夠即時掌握顆粒污染的診斷和趨勢。

離線優(yōu)勢：

MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器外接離線取樣裝置，可實現(xiàn)實驗室、工廠內(nèi)外的移動測量和固定測量顆粒大小及多少雙模式，解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測的生產(chǎn)過程難題。

應(yīng)用范圍：

超純水、自來水、飲用水、去離子水、礦泉水、蒸餾水、無機化學(xué)品、有機化學(xué)品、有機溶劑、清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片、等產(chǎn)品進行在線顆粒監(jiān)測和分析。

技術(shù)參數(shù)：

介質(zhì)要求：液體檢測要求；

監(jiān)測原理：激光光散或光阻原理

傳感器：激光檢測器；

測試軟件：集成韓文、中文、英文、日文應(yīng)用軟件；

檢測標準：滿足各類標準；

測試標定：JJG1061、JIS B9921或乳膠球或ISO21501；

操作方式：彩色液晶觸摸屏操作&遠傳遠控；

檢測范圍：0.1-1.0um、0.5-20.0um；

取樣方式：外置管控和內(nèi)置計量；

進樣精度：<±1%；

精 確 度：<±3%典型值；

重合精度：1000粒/mL（2.5%重合誤差）；

通訊輸出：TCP/IP；并帶超標報警功能；     

報告方法：顆粒數(shù)/mL；

輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；