氣體分析儀

RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

◇100，200，和300amu
◇優(yōu)于1amu的分辨率
◇6個量級的動態(tài)范圍
◇可檢測5 x 10^-14Torr

◇實時RGA Windows和LabVIEW軟件
◇質(zhì)譜，泄漏檢測和壓力對時間方式
◇現(xiàn)場可更換的電子倍增器和燈絲
◇RS232計算機接口

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中產(chǎn)品。每一個RGA系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。

探測器類型 標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率 優(yōu)于0.5amu
靈敏度(A/Torr) 2 × 10⁻⁴ (FC), <200 (EM).
探測限 5 × 10⁻¹¹ Torr (FC),
5 × 10⁻¹⁴ Torr (EM)
測試范圍 10⁻⁴ Torr to UHV (FC)
10⁻⁶ Torr to UHV (EM)
操作溫度 70 °C (max.)
工作溫度 300 °C (without ECU)