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詳細(xì)介紹
概要
質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
1.適用于高溫：可滿(mǎn)足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿(mǎn)足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)
3.超清潔類(lèi)型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造
4.MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格
產(chǎn)品相關(guān)圖及其它
質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
1.適用于高溫：可滿(mǎn)足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿(mǎn)足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)
3.超清潔類(lèi)型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造
4.MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格
| SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8440LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8450LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8455LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8460LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8440LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8450LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8455LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8460LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8440LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8450LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8455LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8460LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8440SL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8450SL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8455SL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8460SL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8440SM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8450SM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8455SM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8460SM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí)：開(kāi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 使用溫度：100?120℃ |
制藥網(wǎng)