詳細(xì)介紹
Setra 217 型壓力變送器專為模塊式“Block"氣體棒和面板設(shè)計(jì),非常適合惡劣環(huán)境(例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變)下的壓力測(cè)量應(yīng)用。
217 型壓力變送器可選帶C 型或W 型密封的朝下安裝的壓力端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra( 7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氦滲漏試驗(yàn)。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造,能提供幾乎不受EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號(hào)。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出色的穩(wěn)定性,避免停機(jī)
·可選帶C 型或W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·模塊式“Block"氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
性能參數(shù) 物理參數(shù) 精度RSS(恒溫下) ±0.25%FS或±1.0%讀數(shù) 殼體 不銹鋼 非線性(擬合直線) ±0.15%FS 電氣連接 6英尺多芯電纜、卡口或D-SUB接頭 遲滯 0.20%FS 壓力接口 朝下安裝的C型或W型密封 非重復(fù)性 0.02%FS 通氣 零點(diǎn)盒滿量程處的檢修孔 電氣參數(shù)(電流) 重量 約184g 電路 2線 電氣參數(shù)(電壓) 輸出6 4~20mA2 電路 3線(COM,OUT,EXC) 外部負(fù)載 0~800Ω 輸出4 0~5VDC或0.2~5.2VDC5 0~10VDC或0.2~10.2VDC5 最小供電電壓(VDC) 10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻) 激勵(lì) 5VFSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC 10VFSO(滿量程輸出)時(shí)為13~30VDC 供電電壓(VDC) 30+0.004X(接收器附加導(dǎo)線電阻) 電流消耗 <8mA 溫度影響2 環(huán)境參數(shù) 壓力介質(zhì) 溫度補(bǔ)償范圍 -9~65℃ 工作溫度3 -40℃~+85℃ 與316L不銹鋼兼容的氣體或液體的 零點(diǎn)/滿程漂移 1.8%(%FS/50℃) 存放溫度 -40℃~+85℃
1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的方和根
2. 產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來
3. 電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低
4. 采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)載≥5K時(shí)工作
5. 零點(diǎn)(滿量程)輸出:對(duì)于5VDC輸出,出廠設(shè)置在±25mA以內(nèi);對(duì)于10VDC輸出,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)
6. 出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,負(fù)載24VDC電源
零點(diǎn)(滿量程)輸出:出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi)