當前位置:HORIBA 科學儀器事業(yè)部>>橢偏儀>>真空紫外橢偏儀>> In-situ series在線橢偏儀
HORIBA In-situ series在線橢偏儀儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)(n,k)變化。
技術(shù)參數(shù):
·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化
HORIBA In-situ series在線橢偏儀主要特點:
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分