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詳細(xì)介紹
規(guī)格：
| QV ACCEL808 | QV ACCEL1010 | QV ACCEL1212 | QV ACCEL1517 | |||||||
| 光學(xué)系統(tǒng) | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | ||
| 測量范圍(X×Y×Z) | 800×800×150mm | 1000×1000×150mm | 1250×1250×100mm | 1500×1750×100mm | ||||||
| 倍率裝置 | 可編程電動轉(zhuǎn)臺X-2X-6X | |||||||||
| 分辨力 | 0.1μm | |||||||||
| 長度基準(zhǔn) | 線性編碼器 | |||||||||
| 影像裝置 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | ||
| 測量精度*1 | E1 | X, Y軸 | (1.5+3L/1000)μm | (2.2+3L/1000)μm | ||||||
| Z軸（畫像） | (1.5+4L/1000)μm | (2.5+5L/1000)μm | ||||||||
| E2 | XY平面 | (2.5+4L/1000)μm | (3.5+4L/1000)μm | |||||||
| 重復(fù)精度*1 | 短尺寸 | X, Y軸 | 3σ = 0.2μm | |||||||
| 長尺寸 | 3σ = 0.7μm | 3σ = 1.5μm | ||||||||
| 自動跟蹤聚焦 | 安裝可選 | |||||||||
| 工作臺玻璃尺寸 | 883×958mm | 1186×1186mm | 1440×1440mm | 1714×1968mm | ||||||
| 臺面承重*2 | 10kg | 30kg | 30kg | 30kg | ||||||
| 尺寸 (W×D×H) | 1475×1860×1578mm | 1912×2141×1603mm | 2166×2370×1554mm | 2440×2898×1554mm | ||||||
| 重量(包括機器設(shè)置臺) | 約 2050kg | 約 2950kg | 約 3600kg | 約 4500kg | ||||||
*1：根據(jù)本公司檢查方法，L為任意兩點間的尺寸（mm)
*2：不包含的載重、集中載重。
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