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詳細(xì)介紹
一、設(shè)備用途
高真空排氣臺運用于磁控管管芯排氣工藝，是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，磁控管管芯抽真空至高真空（5.0*0-4Pa）通電，
燈絲發(fā)熱后使得吸附在管芯內(nèi)的氣體進一步釋放，將磁控管管芯抽至高真空（優(yōu)于5.0*0-5Pa），達到管芯排氣目的。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能：一次性對50個管芯進行排氣（也可定制）；
2、生產(chǎn)節(jié)拍：約60min每爐；
3、極限真空：優(yōu)于6.67*10-6Pa
4、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤6.67x10-10 Pa.l/S；
5、燈絲電源：輸出直流電流0~20A可調(diào)，功率5.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
6、陽極電源：輸出直流電壓0~300V可調(diào)，功率2.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
7、配置進口品牌（愛發(fā)科）低溫泵，抽速：2400L/S
高真空排氣臺運用于磁控管管芯排氣工藝，是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，磁控管管芯抽真空至高真空（5.0*0-4Pa）通電，
燈絲發(fā)熱后使得吸附在管芯內(nèi)的氣體進一步釋放，將磁控管管芯抽至高真空（優(yōu)于5.0*0-5Pa），達到管芯排氣目的。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能：一次性對50個管芯進行排氣（也可定制）；
2、生產(chǎn)節(jié)拍：約60min每爐；
3、極限真空：優(yōu)于6.67*10-6Pa
4、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤6.67x10-10 Pa.l/S；
5、燈絲電源：輸出直流電流0~20A可調(diào)，功率5.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
6、陽極電源：輸出直流電壓0~300V可調(diào)，功率2.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
7、配置進口品牌（愛發(fā)科）低溫泵，抽速：2400L/S
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