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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點
v 雙等離子清洗源
v 一機多用
v 快速高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵 |
z大入口壓力：1.0個大氣壓（0psig），z大出口壓力：1.4個大氣壓（6.5psig） | |
z高抽速：60L/min，j限真空：3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào) |
兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長X寬X高)：150x150x150mm |
清洗數(shù)量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | Thermo Fisher（FEI）、日立Hitachi、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源 | 220V，50/60Hz，300W |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護 |
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