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詳細(xì)介紹
晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測(cè)高顯微鏡介紹 偏光觀察 微分干涉對(duì)比觀察 暗視場(chǎng)觀察 亮視場(chǎng)觀察 新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度 對(duì)焦 前端對(duì)焦 后端對(duì)焦 規(guī)格 技術(shù)參數(shù) 型號(hào) VMM-8Ⅰ型 VMM-8Ⅱ型 VMM-8 Ⅲ型 VMM-8 VMM-12Ⅰ型 VMM-12Ⅱ型 VMM-12Ⅲ型 VMM-12 鏡筒 1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 觀察圖像 正像 觀測(cè)方法 輔助對(duì)焦系統(tǒng) - - 頭部或照明器FA系統(tǒng) 頭部或照明器FA系統(tǒng) - - 頭部或照明器FA系統(tǒng) 頭部或照明器FA系統(tǒng) 微分干涉對(duì)比 可選微分觀測(cè)對(duì)比 目鏡 10X(視場(chǎng)直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場(chǎng)直徑：22mm 物鏡(100x選配) 95mm 2x, 60mm 5x, 95mm 2x, 60mm 95mm 2x, 60mm 5x, 95mm 2x, 60mm 照明裝置 反射照明 內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 透射照明 白色LED照明，無(wú)極亮度調(diào)節(jié) 工作臺(tái) XY測(cè)量范圍 200*100 200*100 200*100 200*100 300*200 300*200 300*200 300*200 快速釋放裝置 X軸和Y軸（標(biāo)配） 調(diào)零開(kāi)關(guān) X軸和Y軸（標(biāo)配） 數(shù)顯計(jì)器 顯示軸 2軸或3軸 分辯率 0.0005mm（可選0.00002mm） VMM-8-Ⅰ型主圖 VMM-8-Ⅱ型主圖 VMM-8-Ⅲ型FA主圖 VMM-8-Ⅳ型FA主圖 VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm 介紹 平場(chǎng)復(fù)消色差M PLAN APO L 數(shù)值孔徑N.A. 工作距離W.D. 焦距f 景深D.F. 分辨率R 視場(chǎng) 目鏡(WF10/24) 1/2"CCD攝像頭 2X 0.055 34.6 100 91μ 5μ Φ12 2.4x3.2 5X 0.14 45 40 14μ 2μ Φ4.8 0.96x1.28 10X 0.28 34 20 3.5μ 1μ Φ2.4 0.48x0.64 20X 0.29 30.8 10 3.5μ 1μ Φ1.2 0.24x0.32 50X 0.42 20.5 4 1.6μ 0.7μ Φ0.45 0.10x0.13 100X 0.55 12.5 2 0.9μ 0.5μ Φ0.24 0.05x0.06 介紹 名稱 物鏡 目鏡(WF10/25) 數(shù)值孔徑N.A. 有效工作距離W.D.(mm) 焦距f′(mm) 分辨率R(μm) 物理焦深±Δp(μm) 物方視場(chǎng)(mm) 焦點(diǎn)深度±Δ(μm) 5X 0.15 11.6 40 2.1 16.3 Φ5 38.3 10X 0.3 6.3 20 0.9 3.1 Φ2.5 7.8 20X 0.4 10.3 10 0.69 1.8 Φ1.25 3.5 50X 0.8 2 4 0.34 0.4 Φ0.5 0.8 100X 0.80 1.96 2 0.34 0.2 Φ0.25 0.6 介紹 名稱 物鏡 目鏡(WF10/25) 數(shù)值孔徑N.A. 有效工作距離W.D.(mm) 焦距f′(mm) 分辨率R(μm) 物理焦深±Δp(μm) 物方視場(chǎng)(mm) 焦點(diǎn)深度±Δ(μm) 5X 0.13 11.6 40 2.1 16.3 Φ5 38.3 10X 0.3 6.4 20 0.9 3.5 Φ2.5 7.8 20X 0.4 11.1 10 0.7 1.6 Φ1.25 3.5 50X 0.55 8.2 4 0.5 10.9 Φ0.5 1.4 100X 0.80 2 2 0.4 0.4 Φ0.25 0.7 微分干涉介紹
VMM測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像
觀察過(guò)濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過(guò)高對(duì)比度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。
最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量
● 無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場(chǎng)WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長(zhǎng)度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測(cè)量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）在沒(méi)有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）
Ⅳ型
Ⅳ型
5x,10x,
20x,50x
10x,20x,
50x
5x,10x,
20x,50x
5x,
10x,20x,
50x
5x,10x,
20x,50x
10x,20x,
50x
5x,10x,
20x,50x
5x,
10x,20x,
50x
95MM金相長(zhǎng)工作距離明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑焦距200mm
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
60MM金相平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
45MM金相平場(chǎng)消色差明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑200mm
● 物鏡螺紋M20.32
技術(shù)參數(shù)
微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。
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