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詳細介紹
Nikon開發(fā)的高精度、高速量測及高NA的CNC影像量測儀VMZ-R Series，不只在精度上再升級，在Ｚ軸的量測高度上也做了提升，讓產(chǎn)品的量測擁有更高的多元性。
●新雷射系統(tǒng)
除原有影像對焦及雷射對焦、掃描等功能，新的雷射感應(yīng)器也可量測膜的表面及底部，進而測量膜厚。
●創(chuàng)新光源設(shè)計
表面光、底部光及環(huán)型光皆采用LED的設(shè)計，光源更穩(wěn)定且壽命更長。
環(huán)型光源有三種不同照射角度且八方向的設(shè)計，讓邊界的量測更加簡易。
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