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集成電路無塵室生產(chǎn)廠房的技術(shù)特征,因其生產(chǎn)工藝有其靈活性的特點,在沒有具體工藝配合的情況下建筑設(shè)計是可以先行的。
集成電路無塵室的等級劃分標(biāo)準(zhǔn)是什么
無塵車間可以將空氣里面的塵埃微粒以及一些有害氣體進行清除,并且將溫濕度以及流明度控制在某一范圍呢,從而達到適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境,福建順勢為邦帶大家了解。
無塵車間的等級及潔凈度標(biāo)準(zhǔn)非常重要,下面小編跟大家一起來科普一下無塵車間的等級分類及潔凈度標(biāo)準(zhǔn):
一級:這個級別的無塵車間主要是用來制造一些集成電路的微電子工業(yè),而相對于集成電路的精確要求是亞微米。
十級:本級別的潔凈室最主要是來加工寬少于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
百級:很多人都覺得100級的無塵車間是最重要的,人們錯誤的認為100級的潔凈室,是為了說明無菌環(huán)境的要求比較高。一般來說100級的無塵室是用來對于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造。
千級:一般用來生產(chǎn)比較高質(zhì)量的光學(xué)產(chǎn)品。
萬級:萬級無塵車間很大程度上是用來對液壓設(shè)備或者是積壓設(shè)備的裝配。當(dāng)然,在有些時候也會用在食品飲料工業(yè),同時在醫(yī)工業(yè)也很常見。
十萬級的無塵車間:在很多工業(yè)部門都會用到,就像在制造光學(xué)產(chǎn)品的時候,有時候也用在比較小的元器件的制造。當(dāng)然,食品飲料的加工,醫(yī)藥工業(yè)的生產(chǎn)也會用到這一級的無塵車間。
潔凈標(biāo)準(zhǔn):
十級潔凈標(biāo)準(zhǔn):
每立方英尺室內(nèi)之空氣所含有大于或等于0.1μm之灰塵粒子不超過350顆,大于或等于0.3μm之灰塵粒子不超過30顆,大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過10顆。 百級潔凈標(biāo)準(zhǔn):
每立方英尺室內(nèi)之空氣所含有大于或等于0.2μm之灰塵粒子不超過750顆,大于或等于0.3μm之灰塵粒子不超過300顆,大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過100顆。
千級潔凈標(biāo)準(zhǔn):
每立方英尺室內(nèi)之空氣所含有大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過1000顆,大于或等于5μm之灰塵粒子不超過7顆。
萬級潔凈標(biāo)準(zhǔn):
每立方英尺室內(nèi)之空氣所含有大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過10000顆,大于或等于5μm之灰塵粒子不超過70顆。
無塵車間的等級分類很多,每一級別的車間都會有其不同程度的適用范圍,不同車間需求,不同的生產(chǎn)目的。
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