氦檢質(zhì)譜漏儀的原理
氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。
檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術規(guī)范
測量范圍和響應時間是檢漏儀的兩個重要的參數(shù)。
測量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級高阻抗輸入開關放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時間。電子信號調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應時間是總響應時間的重要組成部分。對于檢漏儀來說，電氣系統(tǒng)的響應時間遠小于1秒。
檢漏設備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進入檢漏儀的時間（如果檢漏設備沒有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會影響系統(tǒng)的響應時間）。檢漏系統(tǒng)的響應時間可根據(jù)下面的簡單公式計算：
氦響應時間
(達到實際漏率95%的時間)
其中 V = 試驗對象容積
SHe = 檢漏系統(tǒng)對氦的有效抽速。
用標準漏孔校準檢漏儀
檢漏工藝要求準確地區(qū)分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設備的基準。為了獲得準確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀進行校準。
萊寶真空可以提供采用不同原理設計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術協(xié)會） 和
DAKKS認證認可的標準。根據(jù)客戶的要求， 每個氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會頒發(fā)的校準證書。校準工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準實驗室完成。
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PHOENIX L320i Fab是移動式檢漏系統(tǒng)，為需要高清潔度的室內(nèi)運行設計。PHOENIX L300i MODUL用作氦檢漏設備，前級真空泵采用SCROLLVAC SC 30DL。
PHOENIX L320i Fab的兩個主要元件安置在外觀美觀、節(jié)約空間的底盤內(nèi)。為了有效抑制微粒散發(fā)，前級真空泵安置在密封箱內(nèi)，空氣從底部（風扇）進入。密封箱的側板易于拆除。PHOENIX L320i Fab配有各種附件，如氣瓶架、吸槍掛鉤和電源線以及前級真空泵的開關。
客戶得益
- 設計美觀的移動式檢漏儀
- 結構小巧
- 單獨的前級真空泵，抽速大
- 微粒產(chǎn)生少
- 能迅速準備就緒
- 可以快速定量地檢測出小漏
- 只集成了標準元件：維護簡單
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典型應用
如下質(zhì)檢應用
- 要求高度清潔的環(huán)境運行的設備
- 研究和開發(fā)用設備
- 一次性產(chǎn)品
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