OTF-1200X-S-FBUS是一款帶超聲霧化模塊的立式流化床管式爐系統(tǒng),可適用于粉末材料的CVD工藝中(FBCVD)。此系統(tǒng)由顆粒懸浮立式管式爐和超聲霧化模塊組成。爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板,石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進行沉積實驗。對于核殼結(jié)構(gòu)的納米顆粒制備是一款理想的實驗儀器。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1200X-S-FBUS |
基本參數(shù) | 電壓:AC 220V 單相,50/60Hz;功率:1.2KW 工作溫度:1100℃;連續(xù)工作溫度:1000℃ 升溫速率:≤20℃/min;加熱區(qū):200mm(單溫區(qū)) 恒溫區(qū):100mm(±2℃) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系。 |
流化區(qū)域 | 配有一個2.4MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流花區(qū)域進行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆。 氣體以及亞微米級的霧化顆粒均勻分布在整個爐腔中。 固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)。 可提供的熱傳導及顆粒表面的均勻包覆。 爐體設(shè)計為開啟式,當實驗結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,去除反應后的顆粒。 注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量。 |
超聲霧化儀 | AC 220V,2.4MHz高頻超聲波霧化器,可將溶液霧化為亞微米級顆粒。 液體罐上涂有氟化物,并采用氟膠密封圈密封。 可設(shè)置超聲儀功率0-99%,每次按5%增加。 外部配備有氟化物光學傳感器(耐腐蝕)以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度,避免液體量過少。 316不銹鋼三通,帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭,用于通入載流氣體。 |
多孔石英板 | 孔徑:5~15μm 尺寸:22mm O.D×4mm厚 |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng)。 爐體設(shè)計為開啟式,以方便放樣和取樣。 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口1760度高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽面和提高加熱效率 |
爐管尺寸和材料 | 包含一異型石英管 爐管尺寸:兩端:25mm O.D,22mm I.D 中間:50mm O.D,44mm I.D 中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動性。 |
密封法蘭 | 底部法蘭:常規(guī)設(shè)計1”不銹鋼真空法蘭,配備1/4”進氣口用于懸浮氣體進入。 頂部法蘭:特殊設(shè)計的1”法蘭,可實現(xiàn)前驅(qū)動氣體或你流氣體的進氣和出氣。 |
可選配件 | 多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制。 氧分析儀:氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。 |
溫控系統(tǒng) | 可設(shè)置30段升溫,保溫和降溫程序。 采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,并帶有過熱和斷偶保護。 控溫精度:±1℃ |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
尺寸 | 340mm×300mm×1000mm(W×L×H) |
質(zhì)量 | 約20kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材) |
質(zhì)量認證 | 所有元器件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CSA認證 |
使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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