實(shí)驗(yàn)室流化床CVD是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)室硫化用立式管式爐。物料在潔凈的熱氣流（負(fù)壓）作用下懸浮形成流化狀態(tài)，其表面與熱空氣接觸，受熱均勻，達(dá)到了良好的熱交換狀態(tài)，從而有著的效率。制成的顆粒更均勻、細(xì)粉少、流動(dòng)性更好?？捎糜谛⌒蛯?shí)驗(yàn)，可實(shí)現(xiàn)制粒包衣,燒結(jié)或反應(yīng)更充分，相對(duì)于普通管式爐反應(yīng)更充分，實(shí)現(xiàn)了一機(jī)多用的功能。
流化床立式管式爐是由支撐架、下箱體和加熱爐組成,加熱爐腔內(nèi)垂直設(shè)置有爐管,爐管下端設(shè)置下密封法蘭,下密封法蘭的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口,另一側(cè)設(shè)置一支撐裝置,支撐裝置用于支撐下塞磚,爐管上端設(shè)置有一上密封法蘭,上密封法蘭的一側(cè)設(shè)有出氣口,另一側(cè)設(shè)置一吊塞磚裝置,吊塞磚裝置用于固定上塞磚,在上塞磚和下塞磚之間設(shè)置有一多孔板;在加熱爐下設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支架,支架與下密封法蘭的一側(cè)連接。
反應(yīng)氣體和均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū)，固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)，爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開(kāi)，拿出石英管，取出反應(yīng)后的顆粒。
注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量等。
立式管式爐
流化床管式爐應(yīng)用
1200度流化床管式爐是一款流化床立式開(kāi)啟式管式爐，是針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)、粉末包覆等，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部焊接有一多孔石英板（稱(chēng)砂芯），石英板的孔徑為10um左右（孔徑可按照粉料實(shí)際目數(shù)選擇）.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行包覆實(shí)驗(yàn)。
流化床管式爐技術(shù)參數(shù)
| 電爐名稱(chēng) | 實(shí)驗(yàn)室流化床CVD管式爐 Fluidized bed tubular furnace |
| 型號(hào) | SGM FDTF1200 |
| 電爐結(jié)構(gòu) | 立式結(jié)構(gòu)、開(kāi)啟式 |
| 功率 | 1.5 KW |
| 爐管尺寸 | Dia 25(OD) X500 mm 中間區(qū)域（Dia50X150） |
| 外形尺寸（mm） | 800X600X1500 |
| 電源電壓 | 220V |
| 相數(shù) | 單相 |
| 加熱元件 | 國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲 |
| 控制方式 | 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù)和斷偶保護(hù)，過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有效的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能 （更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)） FP93控溫儀表（日本島電） 歐陸儀表 觸摸屏儀表 |
| 爐膛材料 | 1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng) |
| 流化床區(qū)域 | 1、反應(yīng)氣體通過(guò)多孔石英板均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū)，到達(dá)鼓肚子收口處形成回流渦流。 2、固體顆粒被通入的氣體懸浮在鼓肚子區(qū)域內(nèi) 3、爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開(kāi)，拿出石英管，法蘭為卡套式、打開(kāi)法蘭卡套取出反應(yīng)后的顆粒。 進(jìn)氣氣體的調(diào)節(jié)： |
| 爐管或多孔石英板 | 1、多孔石英板孔徑：10um 左右 2、尺寸：φ35mm x 5mm 厚 |
| 控制精度 | +/- 1 ℃ |
| 電器 | 浙江正泰 |
| 可控硅 | 106/16E 德國(guó)西門(mén)康 |
| 設(shè)計(jì)溫度 | 1200 ℃ |
| 額定溫度 | 1100 ℃ |
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
| 推薦升溫速率 | ≤15 ℃/ Min |
| 熱電偶型號(hào) | K型 |
| 加熱段長(zhǎng)度 | 205mm |
| 真空系統(tǒng) | 1、單級(jí)泵 TW-1.5A 2、 雙級(jí)泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系統(tǒng) 4、 VS高真空系統(tǒng) 5、 恒壓泵 6、英國(guó)PCG550（INFICON）電容真空計(jì) 1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來(lái)用：TW-1.5A單級(jí)泵即可。 2、雙級(jí)泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa（并配帶有電阻真空計(jì)顯示）。 4、VS高真空系統(tǒng)（該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成）能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒壓泵（該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。 6、英國(guó)（INFICON）電容真空計(jì)（測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好、可選防腐類(lèi)型PCG554） |
| 四周表面溫度 | ≤45℃ |
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 注意事項(xiàng) | 1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 2.向爐管內(nèi)通氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa。進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱爐管的沖擊 3.加熱過(guò)程中不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
流化床爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨(dú)定制。.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。
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