同步光學通道
TRIOS平臺結(jié)合了頂部反射和底部透射光路，可以使用光學、拉曼、光致發(fā)光和掃描探針顯微鏡技術(shù)研究透明和非透明樣品。
TRIOS平臺是一個三端口配置，將所有可能的配置高度耦合到一個的平臺中，并為針尖與激光準直（帶物鏡掃描器）提供優(yōu)化的解決方案。
可以同時進行兩路光學通道（從頂部和側(cè)面、從側(cè)面和底部、從頂部和底部）。
高效、易操作
TRIOS配備了全電動CombiScope AFM，具有自動一鍵點式激光-針尖準直功能。全電動懸臂架和光電二極管定位大大簡化了整個系統(tǒng)調(diào)整過程，并提供了的系統(tǒng)再現(xiàn)性。此外，在安裝相同或甚至不同類型的新懸臂梁后，樣品表面上的相同感興趣區(qū)域（在幾微米的重復性范圍內(nèi)）可以很容易地找回并掃描，而無需任何額外的操作。
掃描器
TRIOS配備了CombiScope AFM，利用了精密運動控制PI公司提供的閉環(huán)、高動態(tài)、3軸壓電納米定位掃描器。掃描器是該系統(tǒng)的核心，使其能夠?qū)崿F(xiàn)高線性、高穩(wěn)固性和高精準性運動。
1300 nm AFM激光器
1300nm原子力顯微鏡反饋激光和常用的紫外、可見光和近紅外拉曼激光（364-830 nm）毫無相互干擾，并且消除了對可見光敏感生物和半導體樣品的任何干擾。
在液體中工作的解決方案
標準的TRIOS樣品架可容納所有常見的樣品襯底，包括載玻片、蓋玻片和35 mm培養(yǎng)皿。特殊設計的液體池具有加熱和液體灌注功能，可在生理環(huán)境和高達60°C的溫度維系下生物樣品。
一臺儀器即可實現(xiàn)所有操作模式
TRIOS平臺在一臺儀器中配備了所有現(xiàn)代AFM操作模式，無需任何額外硬件和成本。它包括諸如力模式、納米蝕刻、壓電力顯微鏡（PFM）、開爾文探針顯微鏡和調(diào)頻AFM（內(nèi)置PLL的動態(tài)力顯微鏡）等特殊應用模式。此外，也可以選配掃描隧道顯微鏡（STM）頭和導電AFM在100 fA–10µA范圍內(nèi)工作（1 nA、100 nA和10µA三檔量程自由切換，1nA量程的電流噪聲為60 fA）和近場光學顯微鏡（SNOM）。TRIOS還可以輕松耦合Raman/PL系統(tǒng)中，用于同區(qū)域AFM-Raman/PL測量和針尖增強光譜（TERS：針尖增強拉曼光譜和TEPL：針尖增強光致發(fā)光）。
TRIOS特殊多功能性平臺已經(jīng)成為納米科學的解決方案。
TRIOS測量模式
- 基本模式：
- 接觸模式
- 半接觸模式
- 非接觸模式
- Top mode
- 相位成像
- 耗散力模式
- 液體環(huán)境接觸模式（可選）
- 液體環(huán)境半接觸模式（可選）
- 電學模式：
- 單道/雙道開爾文探針顯微鏡（KPFM）（含AM和FM兩種模式）
- 掃描電容顯微鏡（SCM）
- 單道/雙道電力顯微鏡（EFM）
- 壓電響應力顯微鏡（PFM）
- 高電壓PFM（可選）
- PFM-top模式
- 導電AFM（可選）
- 高電壓導電AFM（可選）
- I-Top mode™ (（可選）
- I-V譜（可選）
- 光電流成像（可選）
- 伏安特性測量（可選）
- 納米力學模式：
- 側(cè)向力顯微鏡（LFM）
- 力調(diào)制顯微鏡（FMM）
- 力曲線測量（力-距離曲線、力譜和力成像）
- 納米蝕刻
- 納米操縱
- 特殊模式：
- 單/雙道磁力顯微鏡（MFM）
- 可調(diào)磁場（可選）
- 帶音叉的剪切力顯微鏡（ShFM）
- 帶音叉的法向力顯微鏡（可選）
- 其他模式：
- 可調(diào)磁場（可選）
- 帶音叉的剪切力顯微鏡（ShFM）
三位一體光譜學顯微鏡
- 同步光接入：
- 底部照明，可用1.49 NA油浸物鏡
- 頂部照明，可用100×0.7 NA物鏡
- 側(cè)向照明（可選），可用100×0.7 NA物鏡
- 閉環(huán)壓電物鏡掃描器，保證光譜激光長時間準直
- 掃描范圍：30µm×30µm×10µm
- 分辨率：1 nm
TRIOS掃描器
- 平板閉環(huán)掃描器：100µm×100µm×15µm（+/-10%）/可選掃描范圍：200µm×200µm×20µm（+/-10%）
- 非線性：XY<0.05%，Z<0.05%
- 噪音：
- XY<0.1 nm RMS，100 Hz帶寬，電容傳感器打開
- XY<0.02 nm RMS，100 Hz帶寬，電容傳感器關(guān)閉
- Z <0.1 nm RMS，1000 Hz帶寬下，電容傳感器打開
- Z<0.03 nm RMS，1000 Hz帶寬下，電容傳感器關(guān)閉
- 高頻掃描器：
- XY諧振頻率≥7 kHz（空載）
- Z諧振頻率≥15 kHz（空載）
- X、Y、Z軸的數(shù)字閉環(huán)控制
TRIOS基座
- 樣品尺寸：大于等于50.8 mm×50.8 mm×5 mm（可選100 mm×100 mm）
- 手動樣品定位范圍：25 mm×25 mm
- 電動樣品定位范圍(可選)：22 mm×22 mm
- 電動SPM測量頭定位范圍：1.6 mm×1.6 mm
- 電動趨近量程：1.3 mm
TRIOS AFM 測量頭
- 激光波長：1300 nm
- 激光對光電測量或生物樣品無影響，避免拉曼應用中的光學干擾
- 全電動：4個步進電機，用于自動懸臂和光電二極管準直
- 為外部操作和探針提供自由通道
TRIOS 可選項
- 導電力模塊：電流范圍：100fA~10µA;三檔量程自動切換（1 nA, 100 nA 和 10 µA
- 液體池/電化學液體池（液體可交換）
- 液體池溫控：室溫-60°C
- 環(huán)境保護罩
- 濕度控制系統(tǒng)：相對濕度10%-85%，濕度穩(wěn)定性：±1%
- 溫控模塊：-50°C ~ +100°C
- 加熱模塊：室溫~300°C/溫度穩(wěn)定性0.1°C；室溫~150°C/溫度穩(wěn)定性0.01°C
- 正交力和側(cè)向力音叉座
- STM針尖座
- 多信號輸入模塊
- Omega：
- 自動準直懸臂-檢測器激光
- 具有標準測量技術(shù)預設參數(shù)的自動配置
- 自動調(diào)整懸臂共振頻率
- 宏語言Lua，用于編程用戶函數(shù)、腳本和小構(gòu)件
- 能用DSP宏語言對控制器進行實時編程，無需重新加載控制軟件
- 懸臂力常數(shù)校準（熱法）
- IAPro：
- 在坐標空間處理圖像的能力，包括制作橫截面、擬合和高達12級的多項式曲面減法；
- FFT處理，具有在頻率空間處理圖像的能力，包括濾波和分析
- 處理：高達5000像素×5000像素圖像。
控制器電子學
- 模塊化、全數(shù)字、可擴展控制器
- 高速DSP 300 MHz
- ADC:20通道
- 掃描器位置傳感器：高速500 kHz 18位ADC
- 5 MHz頻率范圍登記系統(tǒng)
- 2個鎖相放大器，頻率范圍為5 MHz
- 6個數(shù)字32位發(fā)生器，頻率范圍5 MHz，分辨率0.018 Hz
- 7個步進電機控制
- 與外部設備集成的數(shù)字輸出
- 與外部設備集成的模擬輸入/輸出
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