微電子行業(yè)由器件和微電子材料等組成，器件和微電子材料細(xì)分為外延片、SOI片、硅拋光片、IC 制造等，這些器件的生產(chǎn)都需要用到工業(yè)從純水，如生產(chǎn)期間用的純水水質(zhì)不達(dá)標(biāo)，則會(huì)直接影響設(shè)備的使用壽命，下面了解一下微電子行業(yè)用的是哪種水處理設(shè)備?
首先，
水的電阻率：按照我國(guó)有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)，大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)的用水水質(zhì)一般要求電阻率大于18MO-CM。
溫馨提示：國(guó)家的有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)水的電阻率分為四個(gè)等級(jí)：四級(jí)為電阻率0.5MO-CM、三級(jí)電阻率12MO-CM、二級(jí)電阻率不低于15MO-CM、一級(jí)高電導(dǎo)率18MO-CM以上。
純水脫鹽率：微電子行業(yè)做的器件一般都會(huì)使用到電腦、耳機(jī)、充電寶、電視機(jī)、手機(jī)等的電子設(shè)備，因此要求純水的脫鹽率應(yīng)高達(dá)99%以上。
純水樹(shù)脂：電子行業(yè)用的純水樹(shù)脂要求在95%以上。
其次，
超純水設(shè)備：采用的是預(yù)處理、反滲透技術(shù)、edi超純水技術(shù)以及后級(jí)處理等方法的水處理工藝，可制取出水質(zhì)電阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上，
脫鹽率：edi超純水技術(shù)可去除水中99%左右的鹽成分。
超純水設(shè)備可以將水中的導(dǎo)電介質(zhì)、細(xì)菌、礦物質(zhì)、膠體物質(zhì)、氣體、微生物等去除至很低程度的水處理設(shè)備。
因此微電子行業(yè)的工業(yè)純水是可以用超純水設(shè)備制取的。
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