特點:
◆*的多樣品掃描減少了停機時間
◆200mm X 200mm的大樣本尺寸提供了比較多的可能性
◆具有包容性的掃描模式組合可以適應大多數(shù)的需要
◆非常適合公共實驗室和用戶中心
規(guī)格參數(shù):
型號 | Park XE15 | |
掃描儀 | XY掃描儀 | 100um*100um |
Z掃描儀 | 12um(可選25um) | |
形貌噪音 | <0.05nm(標準值0.02nm) | |
光學 | 物鏡 | 10X (可選20X) |
電子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
ADC | 500 kHz采樣20個16位ADC的頻道 | |
DAC | 500 kHz沉降21個16位DAC的頻道 | |
樣品臺 | XY平臺行程 | 150mm x 150mm |
Z平臺行程 | 27.5mm | |
聚焦平臺行程 | 20mm | |
樣品尺寸 | 150mm,厚度小于20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 820mm(長)X920mm(寬)X1280mm(高) |