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Depolab 200 等離子體沉積機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2021/7/13 20:39:44
  • 訪問次數325
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產, 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產品。 生命科學/生物醫(yī)療 產品主要有:PCR儀,核酸質譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據客戶需求,研發(fā)定制相關產品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質的產品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等客戶提供儀器設備和材料。
電子顯微鏡
PECVD等離子體沉積工具Depolab 200將平行板等離子體源設計與直接負載相結合。
Depolab 200 等離子體沉積機 產品信息

PECVD Depolab 200 等離子體沉積機


成本效益

PECVD等離子體沉積工具Depolab 200將平行板等離子體源設計與直接負載相結合。

可升級性

根據其模塊化設計,depolab200可以升級為更大的抽油機、低頻電源和額外的燃氣管道。

SENTECH控制軟件

用戶友好功能強大的軟件包括模擬GUI,參數窗口,食譜編輯器,數據日志,用戶管理。

Depolab 200是由SENTECH公司開發(fā)的一種基本的等離子體增強化學沉積(PECVD)工具,它將用于均勻薄膜沉積的平行板電極設計與直接負載的經濟有效設計相結合。從2英寸到8英寸的晶圓片和樣品片上的標準應用開始,它可以逐步升級以適應復雜的加工。

Depolab 200的突出特點是系統(tǒng)的堅固性設計、可靠性和軟硬件的靈活性。在這個系統(tǒng)上開發(fā)了不同的程序。用于高品質氮化硅和氧化硅層沉積。Depolab 200包括帶有氣箱、控制電子、計算機、背泵和主連接箱的反應器單元。

Depolab 200等離子體增強沉積工具可在400℃以下的溫度范圍內沉積SiO2、SiNx、SiONx和a- si薄膜。Depolab 200特別適用于蝕刻掩膜、膜、電隔離膜等介質薄膜的沉積。

Depolab 200由森泰克*控制軟件操作,使用遠程現場總線技術和非常友好的通用用戶界面。

Depolab 200

PECVD等離子體沉積工具

打開蓋子加載

適用于200毫米晶圓

基片溫度可達400℃

低應力薄膜可選低頻混頻

干式抽油機

占用空間小

關鍵詞:反應器
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